T型卡套過濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計，具備以下特點和優(yōu)勢：

產(chǎn)品特點

● 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)：堅固耐用，耐腐蝕性強，適用于多種工藝氣體。

● 高通量、低阻力：結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，確保氣體流通順暢。

● 超高顆粒攔截率：精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度，過濾精度高達(dá)0.003μm，顆粒攔截效率達(dá)99.9999999%。

● 耐高溫、耐高壓：工作溫度范圍為-28℃至482℃，工作壓力可達(dá)414bar(6000psig)，適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)的制造、測試和包裝。

● 安裝簡便：僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險，確保密封無憂。

● 100%完整性測試與氨氣檢漏測試：確保過濾器的可靠性和安全性。

應(yīng)用場景

● 半導(dǎo)體制造：用于高純氣體輸送系統(tǒng)，確保氣體的超高純度，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的純凈度。

● 潔凈室環(huán)境：適用于潔凈室內(nèi)的制造、測試和包裝過程，防止微粒污染。

● 實驗室及科研：為高校實驗室、科研檢測單位提供高純氣體過濾，確保實驗精度。

安裝和維護(hù)

● 安裝簡便：僅需進(jìn)行氣路對接與螺母緊固，無需焊接，避免焊接風(fēng)險，確保密封性。

● 維護(hù)便捷：過濾元件易于更換，不需拆卸管路即可清洗和更換濾芯。

T型卡套過濾器憑借其卓越的性能和便捷的安裝維護(hù)特點，成為半導(dǎo)體領(lǐng)域工藝氣體凈化的理想選擇。